高精度的质量流量控制，最高可耐受 40MPa 气体压力，快速的流量控制响应， 1/1000 的可控量程比，可选择切换多种气体类型，最多 5 路的气体流量控制。内置缓冲罐使混气更准确均匀一体化显示控制，可为各类反应器装置提供适配浓度的反应气体。